一种接近-触觉双模态柔性传感器的制备方法及其传感器

摘要

本发明公开了一种接近‑触觉双模态柔性传感器的制备方法及其传感器，制备方法包括以下步骤：制备介电层和基底，介电层表面具有半球体阵列的微结构；制备上下电极层，将电极导线与上下电极层相连，最后封装传感器。接近觉传感器由上电极层组成，触觉传感器由上电极层、介电层和下电极层组成，从而实现了单一传感器对接近和触觉的感知。本发明采取离子溅射的工艺制备电极层，电极层附着性强，介电层表面具有半球体微结构，有效提升触觉传感器的灵敏度。传感器制作工艺简单，成本较低，可大规模生产。