微影方法、微影制程与微影系统

摘要

本揭示案揭示一种微影方法、微影制程与微影系统。微影方法包括得到污染层厚度和补偿能量之间的关系，其中污染层形成在光罩上且补偿能量可移除污染层。微影方法还包括从厚度量测装置得到第一污染层的第一厚度，其中第一污染层形成在光罩上。微影方法还包括对引导至光罩的光施加第一补偿能量，其中通过得到的关系而计算出第一补偿能量。