原位式奈米壓印微影技術之模具變形監測的方法與系統

摘要

[[abstract]]本發明提供一種即時監測奈米壓印微影技術之模具形變的方法，其中該方法使用一資料庫，用以記錄暫時性資料，同時利用在該壓印微影技術之模具上製作監測記號，並在該壓印微影技術之模具的周圍設置發射源與監測裝置，以進行下列步驟：(A)在奈米壓印所使用的模具本體之較易觀測的位置，製作監測模具變形所需之記號；(B)裝設發射源與監測裝置，以偵測模具之監測記號的變形量；(C)將上述偵測之變形量，轉換為輸出信號輸入至個人電腦處理，而個人電腦處理之暫時性資料則藉由資料庫加以記錄；(D)憑藉步驟(C)個人電腦處理之信號，發出控制訊號，以控制模具是否停止或令機台發出警報訊號。