接近式曝光装置用照明装置、LED单元、接近式曝光装置及接近式曝光装置的曝光方法

摘要

提供一种能够独立地使用水银灯和LED这两者作为光源部的照明装置。该照明装置具备：以水银灯(31)为光源的第一光源部(30)；使来自该第一光源部(30)的光均匀地射出的复眼透镜(46)；分别反射来自第一光源部(30)的光的多个反射镜(40、41、50、51)；以及LED单元(60)，具有将多个LED元件(62)作为光源的第二光源部(61)和移动机构(70)，该移动机构(70)使该第二光源部(61)在位于第一光源部(30)的光路EL上的工作位置AP与远离第一光源部(30)的光路EL的退避位置WP之间移动。