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防腐蚀性铜及电真空器件

摘要

本申请实施例提供一种防腐蚀性铜及电真空器件,属于电真空设备材料领域。在防腐蚀性铜中,铜晶界数量≤10个/cm2;该防腐蚀性铜为晶畴为Cu(111)、Cu(200)和Cu(220)其中一种的单晶铜,单晶铜的XRD测试的单晶峰强>3*103。电真空器件具有真空作业元件,该真空作业元件的材质为该防腐蚀性铜。本申请的防腐蚀性铜在单位面积内具有特定的铜晶界数量,且其晶畴具有特定的单晶取向以及单晶峰强,使得铜材料自身具有较好的防腐蚀性能,能够有效改善真空作业元件的腐蚀问题,提高真空作业元件的散热性能和使用寿命。

著录项

  • 公开/公告号CN114438591A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 松山湖材料实验室;

    申请/专利号CN202011227437.0

  • 发明设计人 寇金宗;刘科海;何梦林;王恩哥;

    申请日2020-11-05

  • 分类号C30B29/02;C30B1/02;H01J23/027;H01J23/033;H01J25/50;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

  • 入库时间 2023-06-19 15:11:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-06

    公开

    发明专利申请公布

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