一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机

摘要

本发明公开了一种半导体PVD设备Clamp ring抛光打磨机，包括夹紧块，支撑板、气缸和旋转机构，所述的气缸设置在旋转机构上，气缸顶端设有支撑板，所述支撑板为圆形，其工作面等距设有凹槽，凹槽将支撑板的圆形工作面分隔成三个相等的扇形，凹槽内设有夹紧长条，该装置可以有效的夹紧部件，保证了打磨的过程中部件始终处于旋转台的正中心，而且不会被打磨的摩擦力带飞，这样既保证了整体打磨的均匀性、提高打磨质量和部件的安全性。