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一种电池片成膜气氛控制方法、成膜系统和成膜方法

摘要

本发明公开了一种电池片成膜气氛控制方法、成膜系统和成膜方法,属于电池成膜技术领域。它包括预先设定电池片成膜气氛中所需的标准水汽分压P标=P1±P2,其中P1‑P2为标准水汽分压的最低值,P1+P2为标准水气分压的最高值;将待成膜电池片置于成膜腔体中,成膜腔体中设有温度可调的冷阱盘管,冷阱盘管的温度调节范围为‑180℃~‑100℃;电池片成膜气氛中的实际水汽分压为P实,若P实>P1+P2,则通过降低冷阱盘管的温度来降低P实并使其在P1±P2范围内;若P实<P1‑P2,则通过增加冷阱盘管的温度来增加P实并使其在P1±P2范围内。本发明能有效控制电池片成膜气氛中的水汽含量,进而提升成膜电池片的转换效率Eta等性能。

著录项

  • 公开/公告号CN114318293A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州迈为科技股份有限公司;

    申请/专利号CN202111644533.X

  • 申请日2021-12-29

  • 分类号C23C16/44(20060101);C23C16/52(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/56(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构32346 江苏瑞途律师事务所;

  • 代理人韦超峰

  • 地址 215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

  • 入库时间 2023-06-19 14:54:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-12

    公开

    发明专利申请公布

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