公开/公告号CN114318293A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州迈为科技股份有限公司;
申请/专利号CN202111644533.X
申请日2021-12-29
分类号C23C16/44(20060101);C23C16/52(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/56(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构32346 江苏瑞途律师事务所;
代理人韦超峰
地址 215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号
入库时间 2023-06-19 14:54:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 成膜设备及成膜方法
机译: 氮化硼膜的生长设备和方法
机译: 含纤维状纤维素的组合物,其制造方法和膜