公开/公告号CN114301459A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州云芯微电子科技有限公司;
申请/专利号CN202111579427.8
申请日2021-12-22
分类号H03M1/10(20060101);
代理机构32224 南京纵横知识产权代理有限公司;
代理人史俊军
地址 215332 江苏省苏州市昆山市花桥镇兆丰路8号
入库时间 2023-06-19 14:48:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法