使用柔性电子平台的可折叠数字微流体装置及其制造方法

摘要

本申请公开了一种使用柔性电子平台的可折叠数字微流体(Digital Microfluidic，DMF)装置及其制造方法。可折叠数字微流体装置包括具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺基板，柔性聚酰亚胺基板可进行折叠以提供相对的多个基板。可折叠数字微流体装置还包括同样具有薄铜特征的柔性聚酰亚胺介电层。在一些实施例中，用于形成本公开的可折叠数字微流体装置的结构是基于使用盲孔。在一些实施例中，可折叠数字微流体装置包括一个液滴致动层。在其他实施例中，可折叠数字微流体装置包括多个液滴致动层。此外，本申请公开了一种制造可折叠数字微流体装置的方法。