公开/公告号CN114086135A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州瑞纳新材料科技有限公司;
申请/专利号CN202111310854.6
申请日2021-11-08
分类号C23C14/35(20060101);G02F1/137(20060101);G02F1/15(20190101);C09K19/38(20060101);C23C14/08(20060101);
代理机构32286 南京常青藤知识产权代理有限公司;
代理人袁夫文
地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区苏胜东路胜港街88号一楼、三楼
入库时间 2023-06-19 14:17:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 专利申请号:2021113108546 申请日:20211108
实质审查的生效
机译: 一种用于沉积电致氧化钨薄膜的新型溶胶的制备方法
机译: 一种用于沉积电致氧化钨薄膜的新型溶胶的制备方法
机译: 电连接薄膜致动镜阵列的薄膜电极并将端子连接到有源矩阵上的方法和薄膜致动镜阵列的生产方法,包括该方法以及由此产生的薄膜致动镜阵列的方法