公开/公告号CN114086220A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 达运精密工业股份有限公司;
申请/专利号CN202111305834.X
申请日2021-11-05
分类号C25D1/10(20060101);C25D1/08(20060101);C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构11805 北京市立康律师事务所;
代理人梁挥;孟超
地址 中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号
入库时间 2023-06-19 14:17:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-25
公开
发明专利申请公布
机译: 多边形主遮罩,其制造方法以及通过使用主遮罩进行电铸来制造遮罩的方法
机译: 高分辨率细金属掩模电铸母板的生产方法
机译: 遮罩,遮罩空白及其制作方法,可提高遮罩图案的位置精度和尺寸精度