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金属遮罩的制作方法及电铸母板

摘要

一种金属遮罩的制作方法,包含:提供电铸母板,包含基材及导电图案层形成于基材上,导电图案层上形成有导电图案部、导电框架部,外边界开槽、以及电流汇入点,导电图案部包含多个图案开口以显露基材,导电框架部围设导电图案部,外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧,电流汇入点形成于外边界开槽,以电性连接导电图案部及导电框架部;进行电铸制程,于电铸母板的表面形成电铸膜;以及对应于外边界开槽对电铸膜进行切割,且分离电铸膜及电铸母板,分离的电铸膜构成金属遮罩,且金属遮罩上具有遮罩开口。一种电铸母板亦被提供。

著录项

  • 公开/公告号CN114086220A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 达运精密工业股份有限公司;

    申请/专利号CN202111305834.X

  • 发明设计人 杨芸佩;程维堂;

    申请日2021-11-05

  • 分类号C25D1/10(20060101);C25D1/08(20060101);C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101);

  • 代理机构11805 北京市立康律师事务所;

  • 代理人梁挥;孟超

  • 地址 中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号

  • 入库时间 2023-06-19 14:17:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-25

    公开

    发明专利申请公布

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