附带状态监视功能的超声波振子及使用其的超声波清洗装置

摘要

本发明提供一种可容易地监视超声波振子的振动状态的附带状态监视功能的超声波振子及使用其的超声波清洗装置。一种超声波振子5，为经由被施加有超声波振动的清洗液来清洗被清洗物的超声波清洗装置中使用的朗之万型的超声波振子5，所述超声波振子5包括以相互层叠的方式配置且在层叠方向可伸缩的多个压电元件10，多个压电元件的一部分作为激振用压电元件11被施加有交流电压而伸缩，多个压电元件的另一部分作为状态监视用压电元件12，以通过激振用压电元件的伸缩而可输出用于状态监视的电压的方式构成。