具有系绳支撑的隔膜的横向激励的薄膜体声波谐振器

摘要

一种声波谐振器装置包括基板和压电板。压电板的第一部分附接到基板。压电体的第二部分形成悬挂在基板中的空腔上方的隔膜。叉指换能器(IDT)在压电板的表面上形成，IDT包括设置在第一部分上的第一和第二母线以及设置在隔膜上的交错的IDT指状物。多个系绳将隔膜支撑在空腔上方，每个系绳在交错的IDT指状物中的对应一个IDT指状物与第一和第二母线中的一个之间提供电连接。