一种制备梯度纳米结构材料透射电镜样品的装置和方法

摘要

本发明属于材料测试领域，特别是一种制备梯度纳米结构材料透射电镜样品的装置和方法，所述的装置包括用于透射电镜样品制备的三脚平衡研磨台装置，主要包括精密千分尺、千分尺支撑脚、楔形圆柱固定器、液泡水平仪以及带有3°坡度的楔形圆柱。精密千分尺、千分尺支撑脚和液泡水平仪用于测量其与样品的水平关系、厚度差异测量，楔形圆柱固定器用于固定需要研磨厚度的样品，带有3°坡度的楔形圆柱用于粘接厚度均匀态梯度纳米结构材料样品。所示的方法包含均匀薄片粘接、楔形样品制备、离子减薄制备三步工序。将样品固定在楔形圆柱的斜坡面上，使其梯度组织方向的边缘粘接在斜坡面与水平面的交线区域；通过往复研磨的方式对样品进行研磨，获得厚度不均匀态梯度纳米结构材料样品；采用离子减薄法对样品进行减薄，获得可供透射电镜观察的厚度不均匀态梯度纳米结构材料透射电镜样品。