一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法

摘要

本发明提供了一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法。系统包括：测量单元与靶镜单元，测量单元包括激光出射模块、偏振分光镜、固定反射器、第一光电探测器和干涉测长模块；靶镜单元包括反射器；激光出射模块产生出射光L1；偏振分光镜用于：①分束：将出射光L1分束为测量光L11和参考光L12，测量光L11射向靶镜单元、被靶镜单元后向反射后，携带三自由度线性几何误差信号返回测量单元；②合束：使测量光L11、参考光L12两束光在空间位置上叠加在一起，记为合束光L3。通过测量L3位置、频率、相位变化，实现沿直线轴做直线运动的空间物体的三自由度线性几何误差的同时快速测量；或者实现空间中两个物体的三自由度线性位置变化的长时间监测。