一种利用激光同时测量多自由度几何误差的方法与系统

摘要

本发明提供了一种利用激光同时测量多自由度几何误差的方法与系统。该系统包括：测量单元与靶镜单元，所述测量单元包括激光出射模块、偏振分光镜、固定反射器、第一至第二λ/4波片、第一检偏器、第一光电探测器、干涉测长模块和二维角度测量模块；所述靶镜单元包括一个分光器与一个反射器；激光出射模块用于产生出射光L1；所述偏振分光镜用于①分束、②合束与③分离；固定反射器用于后向反射所述仅在测量单元内部传播的参考光L12，使参考光L12返回所述偏振分光镜。本发明的系统可实现：沿直线轴做直线运动的空间物体的五/六自由度几何误差的同时快速测量；空间中两个物体的五/六自由度位置姿态相对变化长时间监测。