吸附滚筒、柔性器件的剥离贴附装置及方法

摘要

本发明公开了一种吸附滚筒、柔性器件的机械剥离贴附装置及方法。该吸附滚筒应用于柔性器件的剥离贴附，其包括柱状的滚筒主体，所述滚筒主体的侧表面设有多个间隔分布的长条形吸附区域，各所述吸附区域的宽度≤1cm，所述滚筒主体内对应各所述吸附区域设有各自独立导气的导气通道，所述滚筒主体还设有与所述吸附区域相对应的多组通气孔，各所述通气孔的一端开口于对应的所述吸附区域上，另一端与对应的所述导气通道相连通。该吸附滚筒借助于通气孔的抽气操作与滚筒本身的转动操作，可以方便地、无损地实现机械剥离与贴附柔性器件，能够避免传统激光剥离时所遇到的问题，具有良好的应用前景。