光学元件的超声子孔径抛光

摘要

超声抛光系统的各个方面包括超声致动器和抛光臂。超声致动器被配置为生成超声振动，并且抛光臂被耦合至超声致动器。抛光臂包括喇叭和抛光球。喇叭具有近端和远端。近端被耦合以接收超声振动，并且喇叭被配置为将超声振动从近端传播到远端。抛光球被附接至喇叭的远端，其中抛光球响应于超声振动而振动来抛光光学元件的表面。抛光球被配置为在光学元件的表面上提供小于光学元件的孔径的抛光区域。