公开/公告号CN113956052A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 广东省科学院新材料研究所;
申请/专利号CN202111369288.6
申请日2021-11-15
分类号C04B35/584(20060101);C04B35/622(20060101);C04B35/64(20060101);B01J19/00(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张金铭
地址 510000 广东省广州市天河区长兴路363号
入库时间 2023-06-19 13:58:51
机译: 用于极端UV(EUV)应用的光学系统EUV光刻具有微通道系统,该系统包括微通道段,该微通道段具有通过冷却介质的微通道,并与微镜相关联
机译: 生产微通道芯片的方法,微通道芯片,使用该微通道芯片分离生物分子的方法以及具有该微通道芯片的电泳设备
机译: 微流体芯片,一种制造相同流体的方法,一种微流体芯片的微通道,以及一种能够减小微通道形状中的微通道壁中颗粒壁损耗的微通道的方法