一种提高氮化物涂层刀具表面磨损性能和使用寿命的方法

摘要

本发明公开了一种提高氮化物涂层刀具表面磨损性能和使用寿命的方法，将氮化物涂层刀具进行超声波清洗，然后脱水并烘干后放入真空室；利用冷阴极潘宁离子源，采用高能量氩离子束对氮化物涂层刀具的氮化物表面进行均匀化的离子溅射处理，然后降低氩离子束引出电压进行离子束抛光处理，以增加氮化物表面的光洁度；利用电弧放电，在电弧离子源的阴极石墨靶表面产生电弧放电，在电弧离子源的阳极石墨筒中产生碳等离子体，碳等离子体进入过滤磁场进行过滤，进而形成纯碳离子束流，然后通过磁透镜场聚焦后，进入扫描磁场，通过磁场扫描技术在抛光处理后的氮化物涂层刀具的氮化物涂层表面均匀沉积形成非晶四面体碳薄膜。