公开/公告号CN113936997A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN202111197853.5
申请日2018-05-15
分类号H01L21/033(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/683(20060101);H01J37/32(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人汪骏飞;侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:54:12
机译: 用于硬掩模和其他图案化应用的高密度低温碳膜
机译: 用于硬掩模和其他图案化应用的高密度低温碳膜
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