一种晶圆片处理装置及其送气装置、晶圆片处理方法

摘要

本发明提出了一种晶圆片处理装置及其送气装置、晶圆片处理方法。送气装置包括：卡盘(10)，该卡盘(10)内部形成有多个气体通道(11)，每个气体通道(11)在卡盘(10)顶面形成有气孔(12)；多个柱脚(20)；所述多个柱脚(20)分别安装在卡盘(10)上，用于配合将晶圆片(200)安装在卡盘(10)上，并使晶圆片(200)与卡盘(10)顶面之间形成间隙；气源(30)，通过多个管道(40)分别与对应的气体通道(11)连接，用于向气体通道(11)供应气体并通过气体通道(11)引导气体向晶圆片(200)底面输出。本发明的晶圆片处理装置及其送气装置、晶圆片处理方法设计新颖，实用性强。