公开/公告号CN113909501A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 沈阳精合数控科技开发有限公司;
申请/专利号CN202111115414.5
申请日2021-09-23
分类号B22F12/00(20210101);B22F10/28(20210101);B22F12/90(20210101);B22F10/85(20210101);B22F10/37(20210101);B22F10/31(20210101);B33Y10/00(20150101);B33Y30/00(20150101);B33Y50/02(20150101);
代理机构11628 北京知迪知识产权代理有限公司;
代理人王胜利
地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区财落街道三家子社区
入库时间 2023-06-19 13:52:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-25
授权
发明专利权授予
机译: 用于监测沉积速率的装置,包括该有机沉积层的有机层沉积装置,用于监测沉积速率的方法,以及用于制造有机发光显示装置的方法
机译: 用于监测反应器中沉积层厚度的设备和干法处理方法
机译: 用于监测反应器中沉积层厚度的设备和干法处理方法