提升物理气相沉积反应炉良率的方法

摘要

本发明公开了提升物理气相沉积反应炉良率的方法，包括以下步骤：对物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板和挡板进行喷砂清洁及粗化；将金属颗粒或粉末经金属喷涂技术喷涂在经过喷砂清洁的物理气相沉积反应炉的内壁、遮覆板的外表面和挡板的外表面上，并分别形成物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层；当所述物理气相沉积的内壁金属喷涂层、遮覆板外表面金属喷涂层和挡板外表面金属喷涂层累积金属镀膜到一定程度后，去除金属镀膜。本发明具有成本低，设计合理，操作简便等优点。