一种微纳传感器封装气密性失效时间的预测方法

摘要

本发明公开了一种微纳传感器封装气密性失效时间预测方法，通过确定所述微纳传感器在不同时刻的漏率，并建立所述漏率和时间的函数关系；然后基于所述函数关系和所述微纳传感器的封装腔体内部体积，建立预测模型，并根据所述预测模型确定出封装腔内压强与时间的变化关系；然后基于所述变化关系和所述封装腔压强的失效阈值对封装气密性失效时间进行预测，实现了针对微纳传感器气密性失效时间进行预测，以及微纳传感器气密性封装的可靠性预测仅需少量的数据获取就可以进行，有效地减少了预测需要的时间。