一种提高清洗效率的等离子腔室

摘要

本发明公开了一种提高清洗效率的等离子腔室，包括喷淋板、抽气环、加热盘以及陶瓷套；其中，所述喷淋板与抽气环的间隙尺寸小于1mm。该结构中喷淋板与抽气环采用新的配合方式，从而应用该结构达到了降低PECVD腔内的清洗时间、气体用量及颗粒度，提高产能，节约成本，降低硬件损伤的目的。