铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料及制备与应用

摘要

本发明涉及一种铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅铁电薄膜材料及其制备与应用，所述铁电薄膜材料包含自下而上依次设置的衬底、导电缓冲层和薄膜层，所述薄膜层为铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅，化学组成为(1‑x‑y)Pb(In1/2Nb1/2)O3‑yPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑xPbTiO3，其中，x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，所述铁电薄膜材料采用溶胶凝胶方法制备。与现有技术相比，本发明制备的薄膜具有纯钙钛矿结构，且具有优异的铁电、压电和热释电性能，以及高的居里温度，适用于新型的压电、热释电集成器件。