提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品

摘要

本发明公开了一种提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品，其包括以下步骤：对AlN陶瓷基板进行油污清洗和干燥处理；在氧气气氛对AlN陶瓷基板进行高频等离子清洗获得氧化铝中间层。通过氧化铝中间层来改善金属与陶瓷湿润性，提高附着力，增大了AlN陶瓷与金属的结合力，改善了AlN陶瓷上沉积金属层的质量，金属层均匀且不易脱落，有效确保了陶瓷线路板元器件的正常工作，更能发挥出AlN陶瓷高散热性能在大功率器件中的优势；而且整个处理方式流程简单、方便，只需进行油污清洗、烤干和高频等离子清洗，省去传统高温处理和减少了有机溶剂和强碱性溶剂的使用，经济环保，成本低，可适用于多种陶瓷金属线路的应用开发。