公开/公告号CN113894695A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 广东先导微电子科技有限公司;
申请/专利号CN202111277261.4
申请日2021-10-29
分类号B24B37/08(20120101);B24B37/04(20120101);B24B37/005(20120101);B24B49/00(20120101);B24B49/16(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人张柳
地址 511500 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
入库时间 2023-06-19 13:35:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-30
授权
发明专利权授予
机译: 锑化镓近红外光电探测器的制造方法
机译: 低位错密度的大剂量锑化镓单晶的获得方法
机译: 制备大尺寸锑化镓单晶的方法