具有横向尺寸不同的子鳍延伸区的带鳍IC结构

摘要

本发明涉及具有横向尺寸不同的子鳍延伸区的带鳍IC结构。一种集成电路(IC)结构包括具有第一纵向延伸区和第二纵向延伸区的半导体鳍。该半导体鳍具有：上鳍部，其在第一纵向延伸区和第二纵向延伸区中具有统一的横向尺寸；位于上鳍部下方的第一子鳍部，其在第一纵向延伸区中且具有第一横向尺寸；以及位于上鳍部下方的第二子鳍部，其在第二纵向延伸区中且具有不同于第一横向尺寸的第二横向尺寸。第二子鳍可用于横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件的漏极扩展区中。无论LDMOS器件的类型如何，第二子鳍都减小了子鳍电流，并且提高了HCI可靠性。