公开/公告号CN113693614A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 赛诺联合医疗科技(北京)有限公司;
申请/专利号CN202111000103.4
发明设计人 于庆泽;
申请日2021-08-26
分类号A61B6/00(20060101);A61B6/03(20060101);
代理机构11613 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人蔡晓敏;李会娟
地址 100089 北京市海淀区永泰庄北路1号天地邻枫1号楼1层101
入库时间 2023-06-19 13:26:15
机译: 对准光学伺服系统的多种光源输出的对准装置,对准测试带,对准测试目标和对准光学伺服系统的方法
机译: 包括对准子系统的光刻设备,利用对准和对准结构来提高周期性对准系统的捕捉范围和鲁棒性的装置的制备方法
机译: 用于将晶片与曝光设备对准的半导体晶片对准标记,用于从对准标记产生对准信号的对准系统以及根据对准标记确定晶片的对准状态的方法