一种TOPCon电池的烧结注入方法、烧结光注入装置及TOPCon电池

摘要

本发明公开了一种TOPCon电池的烧结注入合二为一的方法，该烧结注入方法与传统PERC工艺相比，在第一温度升温至第二温度区间有缓冲平台，升温速率有所降低，让电池中的氢原子得到充分激活，从而优化电池的钝化效果，提升电池的开路电压。本发明的注入方法先高温退火，再在低温进行光注入，提升电池钝化性能。该烧结光注入装置用于制备TOPCon电池，烧结光注入装置将烧结炉和光柱入炉集合一体，可以在同一设备中进行烧结和光注入，无需设置冷却装置，节省了用电成本，缩短了设备长度，减少了设备占地面积。本发明的方法制得的电池与传统工艺制备得到的电池相比，高温光注入，修复了制程中的一些EL不良，如水痕、云雾等，提升电池良率。