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气相成长装置及用于该气相成长装置的载具

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摘要

载具(C)形成为具有载置于基座(112)的上表面的底面(C11)、接触晶圆(WF)的背面的外边缘来支承的上表面(C12)、外周侧壁面(C13)、内周侧壁面(C14)的环状，在基座(112)、或基座(112)及载具(C)处，设置有将被晶圆(WF)、载具(C)及基座(112)间隔的空间和基座(112)的背面之间贯通的气体排出孔(1121，1122，C15)。

著录项

  • 公开/公告号CN113711336A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 胜高股份有限公司;

    申请/专利号CN202080028086.2

  • 发明设计人 和田直之;南出由生;

    申请日2020-02-07

  • 分类号H01L21/205(20060101);H01L21/683(20060101);H01L21/673(20060101);C23C16/44(20060101);C23C16/458(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张泽洲;王玮

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 13:23:06

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