一种利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法

摘要

本发明涉及一种利用脉冲激光烧蚀均匀化加工金刚石膜表面的方法：对金刚石膜表面进行清洁净化处理；将聚碳硅烷微粉和金属氧化物微粉混合均匀获得混合微粉，然后使用二乙烯基苯作为溶剂和交联剂，配制成涂料；所述金属氧化物由ZrO、Al2O3、ZnO和MgO混合组成；采用喷涂的方式将涂料均匀涂布于金刚石膜表面，涂布完成后固化成膜，即在金刚石膜表面获得金属氧化物涂层；对涂覆有金属氧化物涂层的金刚石膜表面进行脉冲激光烧蚀。该方法解决了激光直接照射CVD多晶金刚石膜表面时由于存在晶界影响导致金刚石表面激光吸收不均匀、产生凹凸不平的表面缺陷甚至崩口等问题。