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金方圆; 陈波; 鄂书林; 王海峰;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
中国科学院大学;
激光加工; 红外吸收; 激光热传导; 热传导-数学计算; 硅膜;
机译:空气和水下短脉冲激光烧蚀对硅的微加工
机译:介电棒的皮秒脉冲激光烧蚀:激光微加工的角度相关烧蚀过程模型
机译:硅氮化物工件超短脉冲激光加工的激光材料相互作用及烧蚀过程中的关键因素
机译:机器人辅助激光材料加工的终端效应校准和登记程序:根据短脉冲CO_2激光骨烧蚀的特殊需要量身定制
机译:飞秒脉冲激光烧蚀和硅衬底上用于MEMS制造的3C碳化硅膜的图案化。
机译:激光诱导烧蚀在聚合石墨碳氮化物板上的氧化镍纳米粒子利用脉冲激光烧蚀在可见光下高效水分解
机译:飞秒脉冲激光烧蚀并在MEMS硅衬底上对3C-SiC膜进行图案化
机译:紫外飞秒和纳秒激光烧蚀硅:烧蚀效率和激光诱导等离子体膨胀
机译:通过激光烧蚀的成膜方法,靶材的激光烧蚀以及以该方式使用的靶材的激光烧蚀的制造方法
机译:用激光烧蚀生产功能膜的方法及其所用的激光烧蚀过程的组成
机译:激光烧蚀断层摄影系统,激光烧蚀断层摄影的方法,激光烧蚀光谱和断层摄影分析系统,激光烧蚀光谱和断层摄影的方法以及激光烧蚀光谱分析系统
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