一种基于傅里叶红外光谱仪的光电流谱自动测试系统

摘要

本发明公开了一种基于傅里叶红外光谱仪的光电流谱自动测试系统，其特点是该测试系统包括光源组件、环境控制组件、测量模块及控制模块组成，测试半导体材料或器件在不同温度、不同电压或电流偏置下的光电性能，评估材料或器件在不同条件下的工作性能。本发明与现有技术相比具有高度自动化测试及自动分析处理数据特点，系统结构简单、方便，测量波长范围广，精度高，进一步提高了测试效率，实用性强，具有一定推广应用的前景。