一种电化学敏感电极、制作方法及应用其的角加速度传感器

摘要

本发明公开一种电化学敏感电极、制作方法及应用其的角加速度传感器。其包括敏感电极芯片；所述芯片包括：下表面具有凹槽的衬底，形成于衬底上下表面的绝缘层，多个贯穿衬底上下表面绝缘层和衬底的流孔，阳极，阴极和形成于流孔的内侧壁上的流孔侧壁绝缘层；阳极，形成于衬底上表面绝缘层的第一区域上；阴极，形成于衬底上表面绝缘层的第二区域和流孔的内侧壁上；阴极通过环绕所述第二区域外周的绝缘环与阳极相间隔。将两个敏感电极芯片的第二表面贴合组装，形成电极。本发明实现了敏感核心的一体化设计制作，组装难度显著降低；同时制作阴极和阳极，减少了工艺步骤；电极参数方便调节。