MEMS一体化平面电极及含其的电化学角加速度传感器

摘要

一种MEMS一体化平面电极及含其的电化学角加速度传感器，该MEMS一体化平面电极包括衬底；环形流道；环形阵列电极组，其设置在环形流道内，环形阵列电极组的每个电极组均包括第一阴极、第二阴极和两个阳极；阳极环形引线；第一阴极环形引线；第二阴极环形引线；以及平面电极密封连接区，其设置在环形流道两侧上，用于和封装外壳连接。本发明实现了电极一体化，无需四电极结构与绝缘层之间的对准操作，提高了器件的一致性；大大简化了器件的电极制作以及封装工艺，有利于器件的大规模生产和应用。