一种具有非晶硅/微晶硅复合层的HBC太阳能电池结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有非晶硅/微晶硅复合层的HBC太阳能电池结构及其制备方法，包括晶硅衬底，所述晶硅衬底的前表面从内到外包括正表面场和正面钝化层，所述晶硅衬底的背表面从内到外分别包括本征非晶硅层、交替排列的n+掺杂非晶硅层/p+掺杂非晶硅层、交替排列的n+掺杂微晶硅层/p+掺杂微晶硅层、激光开槽区、背面透明导电膜、负电极/正电极。与现有技术相比，本发明采用背面非晶硅叠加微晶硅复合层结构，优化了HBC电池背面发射层和背场层，提升电池的短路电流密度与开压，降低串联电阻，从而提升电池转换效率。