用于痕量甲醛气体检测的栅极敏感型FET气体传感器阵列及其制备方法

摘要

本发明提供一种用于痕量甲醛气体检测的栅极敏感型FET气体传感器阵列，包括：阵列基板；在阵列基本表面通过半导体工艺制备的多个甲醛气体传感器，所述甲醛气体传感器为栅极敏感型传感器，并且多个甲醛气体传感器成周期性分布；其中，所述栅极敏感型传感器包括以碳纳米管作为沟道的FET传感器，依次包括：碳纳米管(CNT)构成的沟道层；位于沟道层上方的介电层；位于沟道层两侧并分隔开的源极以及漏极，介电层位于源极与漏极之间；以及位于源极与漏极之间并形成于介电层上方的敏感层，作为栅极，所述敏感层为连续分布的贵重金属敏感层。本发明的栅极敏感型FET气体传感器阵列，可在气体种类繁多的复杂环境下，例如常见的空气环境中，实现对痕量甲醛气体进行精准检测。