一种太阳能电池用氢化纳米晶硅薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池用氢化纳米晶硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1：快速热退火；把非晶硅薄膜放入有气氛保护下的退火炉里进行退火处理，使其由非晶态薄膜转变为纳米晶态薄膜；S2：区域熔化再结晶；将一束高能量源照射硅基薄膜的表面，使薄膜材料在很短的时间内被加热到很高的温度，在高温下熔化后再结晶；S3：金属诱导晶化；在衬底是上镀一层金属薄膜，再在其上镶一层非晶硅薄膜，然后在较低的温度下退火；S4：高氢稀释气相沉积法；在真空反应室中安装加热丝，当高氢稀释的SiH4或其它源气体通过温度高达1800～2000度的钨丝时，源气体被分解形成各种中性基团，然后在衬底上沉积成纳米晶硅薄膜。