用于对基板上的固体残余物进行定量的方法和设备

摘要

本发明涉及一种用于对样品上的固体残余物进行定量的方法和设备。所述方法包括使用固体基板和烟雾化装置，向所述烟雾化装置添加固体材料，形成固体颗粒的颗粒云，其中固体颗粒的质量浓度的至少1%具有至多约10µm的质量中值空气动力学粒径，从而将所述固体颗粒施加到所述固体基板上，以形成经处理的基板，保持在约30℃至约120℃的温度处达所述方法的至少一部分，以及从所述经处理的基板上移除固体颗粒的一部分，并且分析所述至少一个样品。本发明还包括一种用于将固体颗粒施加到基板上的设备。所述方法可用于例如分析固体样品的耐积垢性。