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正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法

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提供一种能够形成适合剥离的图案形状的正型抗蚀剂组合物。一种正型抗蚀剂组合物，其包含(A)特定的聚合物、(B)具有酰亚胺基的产酸剂、(C)溶解速度调节剂，和(D)溶剂。

著录项

公开/公告号CN113632007A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-09

原文格式PDF
申请/专利权人默克专利有限公司;
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申请/专利号CN202080025092.2
发明设计人明石一通;浦部慈子;张锐;片山朋英;
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申请日2020-03-26
分类号G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);
代理机构11216 北京三幸商标专利事务所(普通合伙);
代理人刘卓然
地址德国达姆施塔特
入库时间 2023-06-19 13:10:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-04-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2020800250922 申请日:20200326

实质审查的生效

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