测量对准标记或对准标记组件的方法、对准系统和光刻工具

摘要

本发明提供了一种测量对准标记或对准标记组件的方法，其中对准标记包括在至少两个方向上延伸的网格特征，该方法包括：使用对准标记或对准标记组件的预期地点来测量对准标记或对准标记组件；确定对准标记或对准标记组件在第一方向上的第一位置；确定对准标记或对准标记组件在第二方向上的第二位置，其中第二位置垂直于第一位置；确定对准标记或对准标记组件在第二方向上的预期地点与所确定的第二位置之间的第二方向扫描偏移；以及使用至少一个校正数据集基于第二方向扫描偏移来校正第一位置，以提供第一校正位置。