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光学传感器、用于选择光学传感器的方法和用于光学检测的检测器

摘要

本发明涉及一种包括堆叠(125)的光学传感器(110)。所述堆叠(125)具有:衬底(124),应用到所述衬底(124)的至少一个光电导材料(114)的层(112),以及覆盖所述光电导材料(114)的可及表面的盖(116),以及接触所述光电导材料(114)的层(112)的至少两个电接触(136,136')。所述光学传感器在所述堆叠的准静态纳米压痕仪测量中,展现出杨氏模量·在100nm的穿透深度处为75GPa至107GPa·在300nm的穿透深度处为47GPa至127GPa·在1000nm的穿透深度处为49GPa至119GPa,以及硬度·在100nm的穿透深度处为1.20GPa至4.70GPa,·在300nm的穿透深度处为1.60GPa至4.60GPa,以及·在1000nm的穿透深度处为1.60GPa至8.00GPa,所述光学传感器(110)在长时间内展现出高性能和稳定性。所述光学传感器(110)特别地被设计用于作为安全相关设备的应用,诸如气体传感器、火花传感器、或火焰传感器,以及在安全技术领域中。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/09 专利申请号:2020800210450 申请日:20200313

    实质审查的生效

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