一种纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器

摘要

本发明公开了一种纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，包括装置外壳，所述装置外壳内部设置有底座，所述装置外壳内部后端连接有若干施力弹簧，所述施力弹簧远离装置外壳的一端连接有连接固定板；所述连接固定板远离施力弹簧的一端上阵列有若干支撑板，所述支撑板的前端设置有感应区块；所述底座上设置有若干限位块；解决了纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，结构稳定性不能得到保证，受到外力易损坏的技术问题。