公开/公告号CN113574663A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 昭和电工材料株式会社;
申请/专利号CN201980094137.9
申请日2019-04-25
分类号H01L25/065(20060101);H01L25/07(20060101);H01L25/18(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人白丽
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 13:02:24
机译: 具有埋线的基板结构,该基板结构的制造方法,具有该基板结构的半导体装置以及该半导体装置的制造方法
机译: 隔离结构,形成隔离结构的方法,具有该隔离结构的半导体装置以及制造具有该隔离结构的半导体装置的方法
机译: 蚀刻停止结构,制造该蚀刻停止结构的方法,具有蚀刻停止结构的半导体装置以及制造该半导体装置的方法