一种微电子用超纯氟化铵蚀刻液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种微电子用超纯氟化铵蚀刻液及其制备方法，该刻蚀液包括如下重量份原料：磷酸15‑20份、硝酸5‑10份、超纯氟化铵8‑20份、三乙醇铵盐3‑8份、水10‑15份；并在制备过程中使用了抗腐蚀涂料处理的流化床反应器，该抗腐蚀涂料由如下重量份原料制成：丙烯酸乳液50‑80份、硬脂酸10‑15份、滑石粉3‑5份、高岭土粉3‑5份、抗腐蚀填料3‑8份、消泡剂1‑1.5份、成膜助剂2‑5份、平流剂2‑4份、三乙烯四胺5‑10份、水15‑20份；该防腐涂料能够很好的保护流化床反应器不被氢氟酸腐蚀。