当前我国微电子工业对超净高纯试剂的质量要求

摘要

以双氧水为例列举了国内电路生产厂家对杂质和颗粒的要求，同时指出当前我国电路生产处于超大规模集成电路阶段，而超净高纯试剂的生产则只能满足大规模集成电路的需要，ＶＬＳＩ级试剂主要依赖进口，急需实现国产化。