超净超纯微电子化学品及其电化学方法的制备

摘要

进入21世纪,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业.而集成电路是电子和信息工业的基础,其发展之快,更新之速,是其它任何产业都无可比拟的。集成电路的生产分为前工序和后工序,前工序是指芯片的加工制作过程,主要包括薄膜生长、图形转移、掺杂和温度处理等四项基本操作；后工序主要是指芯片的封装处理过程。本文首先介绍制备高纯试剂的常用技术：精馏，蒸馏，亚沸蒸馏，离子交换，气体吸收，分子筛吸附等技术。重点阐述电解方法制备的微电子化学品的特点和优势，以及电解制备的微电子化学品，如四甲基氢氧化铵、胆碱、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵，以及电子级的氢氧化钠、氢氧化钾。